説明
概要
rf-GD-OES(GDS)分析装置は、Arプラズマにより試料をスパッタリングさせ、スパッタされた原子を原子発光させることで、元素分析を行う、迅速かつ簡単な表面分析装置・深さ方向元素分析装置として、薄膜・めっき・熱処理・表面処理・コーティングなどの研究開発・生産技術・品質管理の分野において、幅広く活用されています。高周波方式グロー放電を採用しているため、非導電性試料でも表面分析が可能です。
- 迅速に表面分析がしたい
- たくさんの試料・検体数の表面分析/深さ方向分析がしたい
- 定量的な表面分析がしたい
といった、表面分析/深さ方向分析のお悩み・お困りにお応えすることができます。
特長
- 迅速表面分析が可能!
- 非導電性材料の表面分析も可能!
- パルススパッタ(特許)により低ダメージ・高分解能測定が可能!
- 顕微鏡観察用の前処理・エッチング機としても活用可能!
- バルク分析(固体材料の定量分析)も可能!
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マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置(GDS) GD-Profiler2
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