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説明
日本電子から新しいSEMのスタイル
マルチタッチパネルで直感的に操作できるモバイルSEMが新登場!!
主な特長
マルチタッチパネルによる快適操作
InTouchScope (インタッチスコープ) JSM-6010LAは、マルチタッチテクノロジと最新の操作ソフトにより直感的操作を実現しました。各種機能の操作は、タッチパネルに触れるだけの快適さです。新開発の操作画面は初めてSEMを使う方にも分かりやすく、高画質でのSEM観察とEDS元素分析が容易にできます。いろいろな環境に合わせてお使い頂けるモバイルＳＥＭ
InTouchScopeは、観察と分析がお手元でできるモバイルSEMです。タッチパネルを移動させ、装置から離れた場所で操作ができます。(ワイヤレスリモート操作、オプション)。InTouchScope本体はAC100Vコンセントのみで設置でき、キャスターで移動することができます。
EDS分析機能標準装備の分析SEM
EDS分析機能を標準装備したJSM－6010LAは高分解能観察や低真空モードによる非導電性試料の観察に加えて、液体窒素冷却が不要な最新のEDS検出器 (ドライSD) により、定性分析・定量分析・元素マッピングが測定できます。また、大型のユーセントリック形試料ステージを搭載しており、各種試料に対応できます。主な仕様
| 分解能 | 高真空モード 4.0nm (20kV) 低真空モード 5.0nm (20kV) |
| 倍率 | ×8 ～× 300,000 |
| 加速電圧 | 0.5kV～20kV |
| 試料ステージ | 大形ユーセントリックステージ ( 5軸手動 Ｘ, Ｙ, Z, R, T) Ｘ：80mm, Ｙ：40mm, Ｚ：5mm～48mm, T：-10°～ + 90°, R：360° |
| 最大試料サイズ | 直径150mm, 高さ48mm |
| 検出器 | 二次電子検出器、反射電子検出器 (組成像・凹凸像・立体像) 、 EDS検出器 (SDD) *JSM-6010LAに組込み 低真空二次電子検出器 (オプション) |
| 画像表示 | 標準、2種ライブ像、2分割ライブ像、フレキシブルウィンドウ表示、 デジタルズーム、デュアルマグ |
| EDS元素分析 | 定性分析、定量分析、元素カラーマッピング、プローブトラッキング 検出元素範囲 Ｂ～Ｕ |
| 自動機能 | オートフォーカス、オートコントラスト・ブライトネス、 オートスティグマ、オートフィラメント、オートアライメント、 オートガンバイアス |
| 真空排気システム | TMP、RP |
| ネットワーク | イーサーネット・ワイヤレスLAN (オプション) |
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InTouchScope JSM-6010LA 分析走査電子顕微鏡
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